热烈祝贺东方集成功在上海某研究所安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统 Posted on 2024年10月21日 2012年3月,东方集成在上海某研究所成功安装了SENTECH SI500D等离子体沉积系统。SI500D等离子沉积系统是ICP-PECVD设备,用于在基......